對位平臺是一種精密的儀器，那下面我們來了解下關(guān)于XYY對位平臺的技術(shù)原理是怎么樣的吧。
XYY對位平臺包括了對位模組固定板、運(yùn)動板、X方向移動裝置、第一Y方向移動裝置和第二Y方向移動裝置，X方向移動裝置、第一Y左右方向移動裝置和第二左右Y方向移動裝置分別與對應(yīng)對位模組固定板、對該運(yùn)動板活動連接，還包括設(shè)置在該對位模組固定板上的X方向動力裝置、第一Y方向動力裝置和第二Y方向動力裝置，X方向動力裝置帶動X方向移動裝置沿X方向往復(fù)運(yùn)動，X方向移動裝置帶動該運(yùn)動板沿X方向往復(fù)移位，第一Y方向動力裝置帶動第一Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運(yùn)動，第一Y方向移動裝置帶動該運(yùn)動板沿Y方向往復(fù)移位，第二Y方向動力裝置帶動第二Y方向移動裝置沿Y方向往復(fù)運(yùn)動，第二Y方向移動裝置帶動該運(yùn)動板沿Y方向往復(fù)移位。
X方向移動裝置包括X方向移動板，X方向移動板與該運(yùn)動板通過軸承活動連接，X方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第一固定板滑槽往復(fù)移動，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。
第一Y方向移動裝置包括第一Y方向移動板，第一Y方向移動板與該運(yùn)動板通過軸承活動連接，第一Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第二固定板滑槽往復(fù)移動，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動。
第二Y方向移動裝置包括第二Y方向移動板，第二Y方向移動板與該運(yùn)動板通過軸承活動連接，第二Y方向移動板的下端面上設(shè)置有滑軌和滑槽，該滑軌沿該對位模組固定板上的第三固定板滑槽往復(fù)移動，該軸承的上方設(shè)置有滑塊，該滑塊沿該滑槽往復(fù)移動
X方向動力裝置包括電機(jī)和與該電機(jī)固定連接的偏心輪，該偏心輪與X方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與X方向移動板之間的間隙。
第一Y方向動力裝置包括電機(jī)和與該電機(jī)固定連接的偏心輪，該偏心輪與第一Y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第一Y方向移動板之間的間隙。
第二Y方向動力裝置包括電機(jī)和與該電機(jī)固定連接的偏心輪，該偏心輪與第二Y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除該偏心輪與第二Y方向移動板之間的間隙。
